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碳化硅原料合成炉HC-SCMP系列——小重量粉料合成炉
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碳化硅原料合成炉HC-SCMP系列——小重量粉料合成炉

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产品描述

参数项目

技术指标

设备尺寸

1356x2400x3360mm

合成重量

20-30Kg

最高使用温度

2400℃

加热方式

感应加热

真空系统

极限真空5x10-4Pa,压升率≤5Pa/12h

气路系统

气体类型:Ar、N₂、H₂等

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