HC-SCR1000系列
电阻加热碳化硅粉料合成炉
电阻加热碳化硅粉料合成炉专为高纯碳化硅粉体合成工艺设计，采用电阻加热结构，温场稳定、控温精准、运行可靠。设备炉膛密封性优良，气氛控制稳定，可有效降低杂质引入，保障粉料纯度。 整机自动化程度高、操作简便、运行成本低，支持单炉次百公斤级碳化硅原料规模化生产，生产效率突出。设备配备专用坩埚吊装机构与工装，方便大吨位装料、卸料及热场安装维护，使用便捷高效，可为碳化硅单晶生长提供稳定、优质的原料保障。
产品特点
设备采用分段式高纯度石墨电阻加热及热场结构，温场均匀性好。 01 | 通过气流路径优化与热场防护技术，具有高腐蚀性气氛下排杂、杂质的定向沉积与热场稳定的特点，可满足高品质碳化硅原料合成。 02 | 设备最大装料量达到100KG，大幅提升了原料合成效率。 03 |
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