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感应加热PVT碳化硅长晶炉


SCMP 系列感应加热 PVT 碳化硅长晶炉拥有丰富型号配置,可支持 6 英寸、8 英寸及 12 英寸碳化硅单晶生长,设备功能完善,已通过大批量市场验证,技术成熟、运行稳定、操作简便。 终端产品广泛应用于新能源汽车、光伏与储能、5G/6G 通信及射频、智能电网、轨道交通、航空航天与军工等关键领域。其中,12 英寸碳化硅单晶可进一步满足 AI 镜片、热沉片、AI算力等新兴高端应用需求,为下一代功率与射频半导体提供核心材料支撑。

电阻加热PVT碳化硅长晶炉


SCRP1200 系列电阻加热 PVT 碳化硅长晶炉型号丰富,可支持 6 英寸、8 英寸及 12 英寸碳化硅单晶生长。设备功能完备,具备晶体提升、旋转、测温等常规功能,并采用创新可视化设计,打破传统 “盲盒式” 晶体生长无法实时观测的局限。 终端产品广泛应用于新能源汽车、光伏与储能、5G/6G 通信及射频、智能电网、轨道交通、航空航天与军工等关键领域。其中,12 英寸碳化硅单晶可进一步满足 AI 镜片、热沉片、AI算力等新兴高端应用需求,为下一代功率与射频半导体提供核心材料支撑。

碳化硅液相长晶炉


LP 系列碳化硅液相长晶炉型号齐全,可支持 4 英寸、6 英寸及 8 英寸碳化硅单晶制备。设备功能完善,集成晶体提升、旋转、测温、液面观测、籽晶液面接触检测、称重等多项功能,并支持按需选配。 终端产品主要面向高压及特高压应用场景,广泛应用于特高压 / 柔性直流输电、轨道交通(高铁、地铁牵引)、新能源汽车高压平台、光伏、储能及工业大功率装备等领域。

多片MOCVD外延生长炉


SCMC8150多片MOCVD外延生长炉,可用于6/8寸碳化硅外延生长,终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域,尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。本设备成膜均匀性好、自动化程度高,产能优势突出,适合批量化生产。

水平式碳化硅外延炉


SCML320A水平式碳化硅外延炉,用于6/8寸碳化硅外延生长,终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域,尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。本设备工艺成熟稳定,耗材匹配性强,设备操作简单,配套EFFM装料机构,可实现自动化生产。

双腔碳化硅外延炉


SCMLD335双腔碳化硅外延炉,用于6/8寸碳化硅外延生长,终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域,尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。设备结构紧凑,占地面积小。热场兼容性高、清理与维护操作简省力。
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