SCML320A
水平式碳化硅外延炉
SCML320A水平式碳化硅外延炉，用于6/8寸碳化硅外延生长，终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域，尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。本设备工艺成熟稳定，耗材匹配性强，设备操作简单，配套EFFM装料机构，可实现自动化生产。
产品特点
工艺稳定，生长速率高; 01 | 多通道进气结构，晶圆表面分区控制，膜厚、浓度均匀性好; 02 | 热场简单、拆装便利、耗材成本极低; 03 | 配套EFFM晶圆装载系统，杜绝人为过程污染; 04 |
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