SCMLD335
双腔碳化硅外延炉
SCMLD335双腔碳化硅外延炉，用于6/8寸碳化硅外延生长，终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域，尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。设备结构紧凑，占地面积小。热场兼容性高、清理与维护操作简省力。
产品特点
标配SMIF模块，适配OHT天车系统，实现全自动化生产; 01 | 移载式热场，清理、维护更便捷、省时省力; 02 | 完善的互锁系统，实现A、B腔安全、独立运行; 03 | 双腔布局，结构紧凑，设备占地面积小，更适合工厂规模化生产。 04 |
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