感应加热PVT碳化硅长晶炉
SCMP 系列感应加热 PVT 碳化硅长晶炉拥有丰富型号配置，可支持 6 英寸、8 英寸及 12 英寸碳化硅单晶生长，设备功能完善，已通过大批量市场验证，技术成熟、运行稳定、操作简便。 终端产品广泛应用于新能源汽车、光伏与储能、5G/6G 通信及射频、智能电网、轨道交通、航空航天与军工等关键领域。其中，12 英寸碳化硅单晶可进一步满足 AI 镜片、热沉片、AI算力等新兴高端应用需求，为下一代功率与射频半导体提供核心材料支撑。
产品特点
采用模块化结构设计有效优化高度空间，占地面积，提升设备适用性; 01 | 集成感应线圈精密装配与定位校准技术，超低速驱动技术及高稳定性(±3Pa)动态压力控制技术，满足第三代半导体晶体生长的严苛工艺条件 02 |
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