多片MOCVD外延生长炉

SCMC8150

多片MOCVD外延生长炉

SCMC8150多片MOCVD外延生长炉,可用于6/8寸碳化硅外延生长，终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域，尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。本设备成膜均匀性好、自动化程度高，产能优势突出，适合批量化生产。

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产品特点

单炉多片生长，生产效率高，产能巨大;

01

工艺过程实时监测，成膜均匀性好;

02

超高的源气利用率，单片成本更低;

03

设备占地面积小，洁净间单位面积的产出最高，适合批量化生产。

04

地址

南京经济技术开发区综辉路49号

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