碳化硅液相长晶炉

碳化硅液相长晶炉

LP 系列碳化硅液相长晶炉型号齐全,可支持 4 英寸、6 英寸及 8 英寸碳化硅单晶制备。设备功能完善,集成晶体提升、旋转、测温、液面观测、籽晶液面接触检测、称重等多项功能,并支持按需选配。 终端产品主要面向高压及特高压应用场景,广泛应用于特高压 / 柔性直流输电、轨道交通(高铁、地铁牵引)、新能源汽车高压平台、光伏、储能及工业大功率装备等领域。

产品特点

设备集成CCD液面检测与籽晶称重模块,通过智能算法精准调控籽晶-熔体接触;

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采用高精度旋转驱动系统,保障坩埚、籽晶与温场同心度;

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设备种类齐全、功能完善,全面覆盖液相感应炉与液相电阻炉,集成晶体提升、旋转、测温、液面观测、籽晶液面接触检测、称重等多项核心功能。

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地址

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