MSIR1050系列
多晶硅铸锭炉
MSIR1050铸锭炉，是采用定向凝固法生长高品硅晶体的专用设备。该设备结构合理，加工工艺精良；采用电阻加热方式，三个独立控制的电源模块，可方便的构建晶体生长所需的温度梯度；设备主要由支撑平台、炉体、坩埚运动机构、下法兰升降机构、抽空系统、气路、冷却水路、电源及控制系统组成。可以实现从抽空、检漏、炉压及氩气流量控制、加热、融化、长晶、退火等全过程的自动控制，可满足生长Φ626×424.5的大尺寸多晶硅晶体，多应用于半导体刻蚀用硅部件材料。
产品特点
生长尺寸大，达Φ626×424.5mm;
01 | 三段电阻加热器独立控制，有效构建温度梯度;
02 | 配备可移动式装料叉车，放便装卸料；
03 | 设备可多台并机摆放，结构紧凑，维护放便。
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